WGL光电轮廓仪价格：98000元。
WGL光电轮廓仪介绍
1 WGL光电轮廓仪获2007年BCEIA金奖，2007年度优秀产品奖，2006-2007年度科学仪器优秀新产品奖。号：ZL200610148202.6。 2 WGL光电轮廓仪采用非接触、光学相移干涉测量方法，测量时不损伤工件表面，能快速测得各种工件表面微观形貌的立体图形，并分析计算出测量结果。
3 WGL光电轮廓仪适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度，标尺、度盘的刻线深度，光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌，磁（光）盘、磁头表面结构测量，硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。
4 WGL光电轮廓仪测量精度高，重复性好，具有非接触和三维测量等特点，并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果。
5 WGL光电轮廓仪适用于各级测试、计量研究单位，工矿企业计量室，精密加工车间和高等院校及科学研究单位等。
WGL光电轮廓仪主要特点
6 仪器由倒置式改为正置式，更符合人们的操作习惯；
7 应用CMOS代替CCD，省去图象卡并提高了质量；
8 用低压电源代替高压电源，节省了仪器成本；
9 用国产的代替德国进口压电陶瓷，解决了关键部件的进口难题；
10 增加了自动步距和亮度校正程序，同时增加了局部放大三维立体图功能。
WGL光电轮廓仪技术参数
· 表面微观不平深度测量范围：在连续表面上,相邻二象素之间没有大于1/4波长的高度突变时：1000nm～1nm；相邻二象素之间含有大于1/4波长的高度突变时：130nm～1nm；
· 测量的重复性：δRa≤0.5nm；
· 物镜倍率：40×；数值孔径：0.65；工作距离：0.5mm；
· 仪器视场：目视Φ0.25mm，摄象0.13×0.13mm；
· 仪器放大倍数：目视500×，摄象（计算机屏幕观察）～2500×；
· 接收器测量列阵：1000×1000，象素尺寸：5.2×5.2μm；
· 测量时间/采样（扫描）时间：1s；
· 仪器标准镜：反射率（高）～50%，反射率（低）～4%；
· 照明光源：白炽灯6V 5W；
· 绿色干涉滤光片波长：λ=530nm，半宽度λ=10nm；
· 主显微镜升程：110mm；
· 工作台升程：5mm；
· X、Y方向移动范围：～10mm；
· 工作台旋转运动范围：360°；
· 工作台倾斜范围：±6°；
· 操作系统：WGL专用软件，Windows XP或2000系统；
· 电源：220V±22V，50Hz±1Hz；
· 外形尺寸：主机300mm×300mm×500mm，电源180mm×280mm×200mm；
· 仪器净重：28kg。
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