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 首页 > 产品展示 > 特种气体
 
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产品型号:
产品名称:

特种气体

产品报价:
0
发布时间:
2011/9/15 13:32:07
产品特点:
特种气体硅烷(SiH4)Silane纯度Purity≥,%杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )+ArCOCO2CH4H2OC2H6+>+>1000Ωcm磷烷(PH3)Phosphine纯度Purity≥,%杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
  特种气体的详细资料:

 

特种气体
特种气体


 

硅烷(SiH4)Silane
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.9999
N2
H2
O2+Ar
CO
CO2
CH4
H2O
C2H6+C3H8
SiH3Cl
电阻率
1.00
20.0
0.05
0.05
0.05
0.05
0.50
0.10
0.15
>1000Ωcm
99.999
N2
He
H2
CO
CO2
CH4
H2O
O2+Ar
电阻率
5
5
100
0.50
0.50
0.50
2
1
>1000Ωcm
磷烷(PH3)Phosphine
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.9999
N2
O2
CO
CO2
AsH3
H2O
总烃
0.3
0.1
0.05
0.1
0.2
0.1
0.1
申烷(AsH3)Arsine
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.9999
Ar
N2
O2
CO
CO2
CH4
H2O
GeH4
C2H6
C3H8
PH3
SiH4
0.1
0.1
0.1
0.05
0.1
0.1
0.05
0.1
0.1
0.1
0.2
0.1
锗烷(GeH4)Germane
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.99
N2
O2
THC
H2O
5.0
1.0
1.0
5.0
(B2H6)Diborane
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.995
O2
CO2
H2O
CH4
CH3Cl
3.0
3.0
3.0
5.0
10.0
99.95
5.0
10.0
5.0
100.0
100.0
(NH3)Ammonia
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.99
O2+Ar
CO2
H2O
CH4
CO
H2
100.0
100.0
200.0
50.0
50.0
100.0
一氧化碳(CO)Carbon Monoxide
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.9
N2
H2
O2
CO2
H2O
150.0
50.0
50.0
50.0
10.0
氧化亚氮(N2O)Nitrous Oxide
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.995
O2+Ar
N2
CO2
CH4
H2O
NO
NO2
NH3
0.5
2.0
1.0
0.5
1.0
1.0
1.0
1.0
一氧化氮(NO)Nitric Oxide
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.9
N2
N2O
NO2
CO2
THC
500.0
100.0
50.0
100.0
10.0
二氧化硫(SO2)Sulfur Dioxide
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.9
残渣
酸度
H2O
40.0
20.0
40.0
羰基硫(COS)Carbonyl Oxysulfide
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.98
残渣
酸度
H2O
40.0
20.0
40.0
硫化氢(H2S)Hydrogen Sulfide
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.9
Air
THC
CO2
H2O
50.0
10.0
30.0
10.0
 
碳氢化合物Hydrocarbon
分子式
名称
纯度(
分子式
名称
纯度(
C2H2
乙炔
99.90%
C4H8
异丁烯
99.5-99.9%
CH4
甲烷
99.9-99.995%
C4H8
顺丁烯
99-99.9%
C2H6
乙烷
99.90%
C4H8
反丁烯
99-99.9%
C3H4
甲基乙炔
99.00%
C5H12
正戊烷
99.50%
C4H6
乙基乙炔
99.00%
C5H12
异戊烷
99.50%
C2H4
乙烯
99.90%
C4H6
1,2-丁二烯
99.50%
C4H10
异丁烷
99.50%
C4H6
1,3-丁二烯
99.90%
C3H8
丙烷
99-99.9%
C5H10
正戊烯
99.50%
C3H6
环丙烷
99.50%
C6H12
己烯
99.50%
C3H6
丙烯
99.90%
C6H12
环己烷
99.50%
C3H4
丙二烯
99.00%
C2H6O
甲醚
99.90%
C4H8
正丁烯
99.90%
   C2H4O
 环氧乙烷
99.90%
氟气(F2) Fluoride
纯度Purity,%
杂质含量:Impurities ( ,% )
99.0
O2+N2
CF4
HF
0.45
0.05
0.50
氟化氢(HF)Hydrogen Fluoride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.9
H2O
Cl2
H2SiF6
SO4--
HPO4--
Metals
25.0
5.0
100.0
5.0
12.2
5.0
三氟化氮(NF3)Nitrogen Trifluoride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.9
N2
N2O
O2+Ar
CO
CO2
H2O
CF4
SF6
F
50.0
10.0
50.0
10.0
10.0
1.0
700
50.0
0.3
,三氟化磷(PF3) Phosphorus Trifluoride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.9
O2
N2
HF
20.0
75.0
5.0
(BF3)Boron Trifluoride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.99
N2
O2
CO
CO2
SO2
SiF4
MS
15.0
5.0
2.0
20.0
20.0
20.0
8.0
三氟甲烷(CHF3)Freon-23
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.995
Air
H2O
CO2
CH4
HF
其它碳氟
15.0
4.0
2.0
1.0
1.0
10.0
四氟化碳(CF4)Carbon Trifluoride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.999
N2
O2
CO
H2O
其它碳氟
2.0
1.0
1.0
1.0
5.0
四氟化硅(SiF4)Silicon Trifluoride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.99
N2
O2
CO
CO2
CH4
HF
PF5
BF6
3.0
1.0
0.5
1.0
10.0
50.0
0.5
1.0
五氟化磷(PF5)Phoshorus Pentafluoride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.99
N2
H2
O2
H2O
其它
50.0
5.0
20.0
5.0
30.0
五氟化砷(AsF5)Arsenic Pentafluoride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.9
N2
H2
O2
H2O
其它
50.0
10.0
20.0
3.0
30.0
五氟化溴(BrF5)Bromine Pentafluoride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.99
N2
O2
H2O
其它
0.1
0.1
10.0
0.1
五氟化碘(IF5)Iodine Pentafluoride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.99
N2
O2
H2O
其它
0.1
0.1
10.0
0.1
六氟乙烷(C2F6)Hexafluoroethane
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.99
N2
O2
CO
CO2
H2O
60.0
15.0
2.0
2.0
5.0
六氟化硫(SF6)Sulfur Hexafluoride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.99
N2
H2
H2O
CF4
其它
24.0
6.0
5.0
20.0
5.0
六氟化钨(WF6)Tungsten Hexafluoride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
杂质含量:Impurities ( ≤,ppb )
99.98
N2
CO+CO2
CF4
HF
SiF4
SF6
O2+Ar
Fe
Cr
Na
K
U
Th
10
1.0
1.0
10
0.5
0.5
1
10
10
10
20
0.05
0.1
六氟化钼(MoF6)Molybdenum Hexafluoride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.7
N2
H2
H2O
其它
0.1%
0.1%
10ppm
0.1%
八氟丙烷(C3F8)Octafiuoropropane
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.9
O2
H2O
酸度
其它
3.0
3.0
2.0
2.0
八氟环丁烷(C4F8)Perfiuorocyciobutane
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.99
N2
H2
H2O
其它
4.0
6.0
5.0
5.0
(Cl2)Chlorine
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.999
N2
O2
H2
CO
CO2
H2O
2.0
2.0
0.1
1.0
0.1
2.0
氯化氢(HCl)Hydrogen Chloride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.999
N2
O2+Ar
CO2
THC
H2O
4.0
1.0
3.0
1.0
1.0
三氯化硼(BCl3)Boron Trichloride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.999
N2
O2
CH4
CO
COCl2
HCl
Cl2
Al
Ca
Cu
Fe
Si
Na
4.0
1.0
0.5
0.5
0.5
1.0
0.3
0.1
0.02
0.01
0.3
1.0
0.1
二氯二氢硅(SiH2Cl2)Dichlorosilane
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.999
H2O
THC
其它氯硅烷
1.0
1.0
0.1%
四氯化硅(SiCl4)Silicon Tetrachloride
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm ) 
99.99
 HCl,
SiHCl3
SiH2Cl2
SiH3Cl
Si-OH
Si-OH(THC)
ppm
35.0
5.0
2.0
2.0
5.0
5.0
Al
Co
Cr
Cu
Fe
Mn
Mo
Ni
Ti
V
Zn
ppb
10.0
1.0
1.0
1.0
10.0
1.0
7.0
2.0
1.0
2.0
3.0
溴化氢(HBr)Hydrogen Bromide
纯度Purity≥,%
杂质含量:Impurities ( ≤,ppm )
99.999
H2O
CO2
Air
HCl
50.0
20.0
0.4
1500

 

更新时间:2023/11/10 8:28:54

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